真空技術是一種建立低於大氣壓力的物理環境,以及在此環境中進行工藝製作、物理測量和科學試驗等所需的技術。
這項技術主要包括四個方面:真空獲得、真空測量、真空檢漏和真空應用。在真空技術中,獲得真空環境的關鍵設備是真空泵,如機械泵、分子泵、離心泵等。真空測量技術用於測量真空環境參數,如真空計、壓力傳感器等。真空檢漏技術用於檢測真空系統中的泄漏,包括氦質譜檢漏、離子泵檢漏等。而真空應用技術則利用真空環境進行各種工藝和生產活動,如真空鍍膜、真空熱處理、真空包裝等。
此外,真空技術還涉及氣體淨化技術和蒸發沉積技術等,這些技術在半導體、集成電路、冶金、食品、醫藥、運輸、熱處理、焊接、鑄造、鍍膜、檢測、離子束、可控熱核反應及航空航天等領域有着廣泛的應用。