真空泵的工作原理主要可以分為變容式和動量傳輸式兩大類。以下是這兩大類真空泵的詳細介紹：
變容式真空泵。這類泵通過改變泵腔的容積來抽取氣體，其內部葉片或旋片的運動導致泵腔容積周期性變化，從而吸入和排出氣體。水環泵是一個典型的例子，它通過葉輪旋轉形成的水環來吸入和壓縮氣體。
動量傳輸泵（分子泵）。這類泵則依靠高速旋轉的葉片或射流來傳輸氣體的動量，從而將氣體從入口傳輸到出口。擴散泵是一個典型的動量傳輸泵，它通過將工作流體加熱成蒸汽，然後通過噴嘴噴射，形成真空。
其他類型如羅茨泵和旋片泵也分別利用不同的機械原理來創建真空，如羅茨泵通過兩個相互嚙合的轉子來吸入、壓縮和排出氣體。旋片泵則通過偏心轉子和旋片的組合來改變泵腔內的容積，完成氣體的抽吸、壓縮和排出過程。這些真空泵的工作原理展示了從簡單到複雜的多樣性和適用性的範圍。