硅基材料包括多種形式，主要可以分爲以下幾類：
硅單晶與多晶材料。這類材料包括單晶硅和多晶硅，是電子工業和光電子工業中的關鍵材料，用於製造晶體管、光伏電池、LED等。
硅的化合物。這些材料包括二氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)、碳化硅(SiC)等，具有不同的物理和化學性質，用於微電子、光電子和陶瓷應用。
硅基合金。這類材料包括硅鐵(FeSi)和其他由硅與其他金屬組成的合金，主要用於冶金和鑄造行業。
硅石。主要包括石英砂、石英岩等天然礦物，是工業硅和其他硅基材料生產的原料。
硅基聚合物。這些是有機硅化合物，如硅橡膠、硅樹脂、硅油等，具有獨特的電性能、熱性能和機械性能，廣泛應用於多箇行業。
硅基光電子材料。用於製造光電器件，如光導纖維、光電探測器等。
此外，還有多孔硅、微晶硅、鍺硅等特殊材料，這些材料因其獨特的物理和化學性質，在電子、光電子和傳感器等領域有廣泛應用。