碳十四年代測定法是一種利用碳的放射性同位素——碳-14來測定有機物質年代的技術。以下是該技術發展的關鍵時間節點：
1940年：碳-14首次被發現。
1949年：Willard Libby發表了第一組碳-14年代數據，並發明了碳十四年代測定法。
1960年：Willard Libby因發明碳十四年代測定法獲得諾貝爾化學獎。
1960年代：基於樹木年輪序列的碳-14定年的第一個校準曲線被制定出來。
1970年代：採用低能質譜計數法。
1977年：第一代加速器質譜技術(AMS)的套用，顯著減少了測年所需的樣品量。
1990年代：第二代商業化加速器質譜儀的發明，以及牛津大學AMS實驗室編制的解決考古問題的套用貝葉斯統計方法的實用微機程式(OxCal)。
1995年：OxCal程式的開發，為解決考古問題提供了新的統計方法。
2000年代：第三代商業化加速器質譜儀的發明，進一步提高了測年的準確性和效率。
2006年：全球共有50多台AMS，其中中國擁有5台，碳-14 AMS系統有3台，顯示了碳十四年代測定法在全球範圍內的廣泛套用。
通過這些技術的發展，碳十四年代測定法已經成為考古學、地質學等領域中測定有機物質年代的重要手段。