臭氧是一種強氧化劑，其消毒原理在於其強氧化性能迅速破壞細菌、病毒等微生物的內部結構。以下是臭氧消毒的具體方法：
臭氧可以通過氧化分解細菌內部所需的酶來滅活細菌。
臭氧作用於細菌的細胞內物質，如核酸中的嘌呤和嘧啶，破壞它們的細胞器和DNA、RNA，進而破壞細菌的新陳代謝。
臭氧與細菌細胞壁的脂類雙鏈反應，通過細胞膜侵入細胞內，破壞細菌的通透性。
臭氧作用於病毒的衣體殼蛋白和RNA，損害其結構，從而殺滅病毒。
此外，臭氧消毒廣泛套用於空氣、水、物品表面和空間等多種場合。在使用臭氧消毒時，需確保消毒環境中無人員存在，並在消毒完成後通風一段時間，確保全全。