臭氧的形成是一個涉及自然源和人為源的複雜過程。
在自然源方面，大部分臭氧在平流層中形成，當太陽紫外線照射到大氣層中的氧分子(O2)時，氧分子會吸收紫外線能量並分解成氧原子(O)，這些氧原子隨後與未分解的氧分子結合，形成臭氧分子(O3)，這個過程被稱為光化學反應。此外，平流層中的氮氧化物(NOx)和揮發性有機物(VOCs)等物質在大氣化學反應的作用下也會生成臭氧。雷電、森林火災等自然現象也會產生臭氧，例如，雷電放電過程中會使空氣中的氧氣分子裂解形成活性原子氧，這些原子氧與其他氧分子結合形成臭氧。
在人為源方面，人類活動（如交通、工業生產、燃燒過程等）排放的氮氧化物和揮發性有機物等污染物，在陽光照射下發生光化學反應，從而促進臭氧的形成。這些反應通常發生在大氣較低的部分，形成的臭氧會逐漸向下擴散，對人類生活環境產生影響。
綜上所述，臭氧的形成主要受太陽紫外線輻射、大氣化學反應以及自然和人為活動的影響。