超純水（Ultrapure water），也被稱為UP水，是一種特殊處理過的水，其電阻率達到18 MΩ·cm（25℃）。這種水中除了水分子外，幾乎不含有任何雜質，包括細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，也不含有人體所需的礦物質微量元素，也就是說，除了氧和氫以外，幾乎去除了所有其他原子。
超純水的製備過程通常涉及蒸餾、去離子化、反滲透技術或其他適當的超臨界精細技術。在實驗中，超純水被用於多種領域，如原子光譜、高效液相色譜、超純物質分析和痕量物質分析等。超純水在電子、電力、電鍍、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等多個領域都有套用。此外，超純水還用於單晶矽製造、半導體晶片切割、半導體晶片封裝、積體電路、液晶顯示器等生產工藝，以及高壓變電器的清洗等。
中國在2017年推出了《儀器分析用高純水規格及試驗方法》的標準，規定了超純水的電阻率一般大於18MΩ•cm，有機物含量TOC小於50ppb，這表明超純水中的離子含量非常低，其他離子含量幾乎可以忽略。