超度嬰靈的流程主要包括以下幾個步驟：
選擇場所。一般在道教寺廟或道觀進行，若沒有，也可選擇家中安靜祥和之地。
準備物品。包括香燭、水果、鮮花、糕點、紙錢等，每種物品都有其象徵意義。
念誦經文。在儀式中，念誦一些經文或經文段落，同時可輕輕拍打嬰靈的肩膀和頭部，以示安撫。
儀式動作。如嬰靈的洗浴，將清水倒入嬰靈的手腳，用毛巾輕輕擦拭，象徵洗淨靈魂的不潔之處。
超度儀式。點燃紙錢，讓其燃燒成灰燼，代表超度嬰靈的財富和福報，可默念祝福語。
結束儀式。用清水清洗供桌和儀式用品，將灰燼埋葬或撒入水中。
此外，還可以進行供養布施，準備佛像、僧衣、香、蠟燭等，有些方法還包括請符咒、遣神召靈等步驟。根據道家和佛教的不同傳統，超度嬰靈的具體做法略有差異，但核心目的均為引導嬰靈靈魂得到解脫和安寧。