還願時需要準備的物品和進行的步驟如下：
還願物品。可以準備一些餅乾、新鮮水果、鮮花等，還願的貢品數量應爲單數，因爲單數在佛學中被視爲陽數，還可以準備一些零錢，用於投入功德箱，也可以帶上香和金紙，具體取決於寺廟的規定。
許願時的承諾。如果許願時承諾了特定的還願物品或者形式，應儘量按照承諾的來進行。
許願過程。在還願時，應回到最初許願的地方，如果條件允許，回到當初的那尊佛像前再次虔誠跪拜。在燒香時，應自報家門，默唸自己的名字、出生年月、所還的願望以及表達感謝。在這個過程中，可以再次許願，但最好限制在三個以內。
捐款。拜完之後，可以根據自己的情況向寺廟捐款，以表達感謝。
此外，還應注意一些細節，如避免踩門檻（男左女右跨過門檻），自報家門，許願的時候口中唸唸有詞，例如信女（信男）XXX，生於XXXX年XX月XX日，家住XXXXXXX，去年來此求子，願望達成，今日特來此還願。如果有新的願望可以在此時許下，並承諾會在哪裏還願。