靶材料，也稱為濺射靶材，是一種在濺射鍍膜過程中被濺射的物質。以下是靶材料的相關介紹：
組成。靶材料通常由「靶坯」和「背板」組成，靶坯是由高純金屬製作而成，是高速離子束流轟擊的目標；背板通過焊接工藝和靶坯連線，起到固定靶坯的作用，並且背板需要具備導熱導電性。
作用。靶材料通過不同的雷射（離子光束）和不同的靶材料相互作用得到不同的膜系，實現導電和阻擋的功能。
套用。靶材料在半導體、物理、化學、表面工程等領域中用於沉積膜材料的基礎材料，通常包括金屬、陶瓷、半導體等。
製備過程。靶材料的製備過程及性質對於薄膜的質量和套用具有重要意義。
以上是靶材料的相關介紹，希望對你有所幫助。