boe溶液配比

BOE溶液，也稱為Buffered Oxide Etch，是一種用於蝕刻的化學試劑，主要由氫氟酸（49%）和氟化銨（40%）水溶液按一定比例混合而成。BOE溶液的配比通常以體積比來表示，例如6:1的BOE蝕刻液意味著將6份體積的40%氟化銨水溶液與1份體積的49%氫氟酸水溶液混合。這種配比方式可以提供適當的緩衝作用，適用於特定的蝕刻工藝。