EDS（Energy Dispersive Spectrometry）定量分析是一種通過測量X射線強度來獲取樣品中各元素濃度的技術。
在EDS光譜圖中，譜峰代表樣品中存在的元素，峰的位置用於元素識別，而峰高則有助於量化樣品中各元素的含量。EDS定量分析通常涉及將未知樣品的測量強度與標準樣品（標樣）的測量強度進行比較，然後使用一種名為ZAF（Zone of Absorption Fitting）的定量修正技術將強度比轉換為濃度比，從而得到樣品中各元素的濃度。
此外，EDS定量分析也常用於微區分析，例如在掃描電子顯微鏡（SEM）或透射電子顯微鏡（TEM）中配合使用，可以分析微小區域內的元素組成和含量，這種方法對於分析材料中的雜質、相分布和元素偏析等具有重要意義。