EDS（Energy Dispersive Spectrometer）是一種X射線能譜分析設備，通常作爲掃描電子顯微鏡（SEM）的標配之一。它主要用於分析樣品的元素成分和含量，進行定性和半定量分析。在使用EDS時，可以確定樣品中的大部分元素，但在分析元素含量時可能會存在差異，這主要是由於不同電鏡設備和相關處理軟件的差異。
在數據分析方面，EDS能譜圖通常包含橫座標（加速電壓）和縱座標（反射粒子數）。如果試樣的譜線簡單，如只有少量峯且峯之間沒有疊加，設備可以自動識別各峯。然而，譜線越複雜，越容易識別錯誤。例如，鋁（Al）的Kα峯和溴（Br）的Lα峯可能會疊加，導致無法正確識別。在自動識別不準確的情況下，需要手動調整峯，去除不需要的峯。分析人員需要熟悉所分析樣品的常見元素重疊峯，如硫（S）的Kα峯與鉬（Mo）的Lα峯重疊，以及儀器假峯，以便進行綜合分析判斷。