EDX（Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy，能量色散X射線光譜儀）是一種用於分析物質中元素組成和含量的技術。它通過分析樣品發出的元素特徵X射線的波長和強度來實現對樣品中元素的定性和定量分析。具體來說，當高能電子或X射線轟擊樣品時，樣品中的原子或分子會發生電離和激發，隨後，原子內層電子被逐出，形成空穴，外層電子躍遷至空穴時釋放的能量以X射線形式發出，這種X射線稱為特徵X射線。EDX技術利用這一現象，通過檢測這些特徵X射線的能量和強度，來識別樣品中存在的元素及其含量。
EDX系統通常與電子顯微鏡（如掃描電子顯微鏡或透射電子顯微鏡）結合使用，以實現對樣品微區成分的分析。EDX技術的優勢包括高靈敏度、快速分析、非破壞性分析能力以及廣泛的元素分析範圍。它廣泛套用於材料科學、能源、環境監測、電子工業等多個領域。