EDX(Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy)是一種用於材料微區元素種類與含量分析的技術。它通過分析試樣發出的元素特徵X射線的波長和強度來實現成分分析。具體來說:
元素種類的測定:EDX根據不同元素的特徵X射線波長的不同來識別試樣所含的元素。
元素含量的測定:通過對比不同元素譜線的強度,可以測定試樣中元素的相對含量。
套用:EDX通常與電子顯微鏡(如掃描電子顯微鏡SEM)結合使用,可以對樣品進行微區成分分析,適用於金屬元素分析。
EDX分析可以實現:
微區成分的定性分析。
元素成分及其大概比例的測定。
樣品準備時,需要寫清樣品尺寸、材質,並註明測試環境要求,以便於EDX分析能夠準確地進行。