FIB分析原理主要涉及聚焦離子束(Focused Ion Beam,FIB)技術,這是一種利用高能離子束對材料表面進行精確加工和成像的技術。以下是其原理的詳細介紹:
離子源。大多數商用FIB系統使用液態金屬(如鎵)離子源,其在外加電場的作用下形成一個尖端,負電場牽引尖端的金屬導出離子束。
離子束聚焦。離子束經過加速和聚焦後,照射到樣品表面,通過控制離子束的能量和注入劑量,可以實現對材料的精確切割和加工。
離子束與樣品相互作用。離子束與樣品表面相互作用時,會產生二次電子和離子信號,這些信號被相應的探測器收集並用於成像。
離子束加工。FIB技術可以通過物理碰撞達到切割材料的目的,其可以在納米尺度上進行精確定位和加工。
FIB系統組成。FIB系統通常包括離子源、離子光學柱、束描畫系統、信號採集系統和樣品台等部分。
此外,FIB分析還涉及其他相關技術,如Clauss法、PT衍生法和免疫學方法等,這些方法用於檢測纖維蛋白原(FIB)的含量,是用於凝血功能檢測的醫學技術。