ICP-MS（Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry，電感耦合電漿質譜）是一種先進的分析技術，其工作原理可概括如下：
樣品引入與電離。樣品通過霧化器形成氣溶膠，隨後被載氣帶入高溫的電感耦合電漿（ICP）區域。在ICP中，樣品經歷蒸發、解離、原子化和電離過程，大多數元素會電離成一個電子，形成一價正離子。
離子傳輸與分離。電離後的離子通過ICP-MS接口有效傳輸到質譜儀。在質譜儀中，離子根據其質荷比（m/z）進行分離，這一過程涉及使用電場和磁場對離子進行加速和偏轉，使得不同質量的離子軌跡不同。
檢測與分析。分離後的離子被檢測器接收並轉換為電信號，經過放大處理後進行數據分析。通過比較不同質荷比的離子強度，可以確定樣品中各種元素的濃度和類型。
ICP-MS技術的優點包括極高的靈敏度、廣泛的動態線性範圍、以及能夠同時分析多種元素。這些特性使得ICP-MS成為地質、環境、生物、醫學等領域中非常重要的元素分析工具。