ITO蝕刻液的主要成分包括硝酸（HNO3）、硫酸（H2SO4）、草酸（H2C2O4）、氯化鐵（FeCl3）、添加劑、表面活性劑和純水。其中，硝酸和硫酸用於氧化，草酸用於溶解氧化物，氯化鐵作為氧化劑，添加劑用於調節蝕刻液的濃度和性能，表面活性劑用於改善蝕刻液的表面性能和減少泡沫。具體的蝕刻液類型可以根據添加的氧化劑和添加劑的不同而有所變化，例如氯化銅+空氣體系、氯化銅+氯酸鈉體系、氯化銅+雙氧水體系、三氯化鐵、硫酸、添加劑、表面活性劑和純水、硝酸10%～30%、硫酸10%～20%、金屬鹽1%~10%、銨鹽0.5%‑3%等。