MO源，全稱金屬有機源（metalorganic source），是指用於半導體行業的高純金屬有機化合物。
這些化合物是現代化合物半導體產業的支撐源材料，對於製造如LED、新一代太陽能電池、相變存儲器、半導體雷射器和射頻積體電路晶片等至關重要。MO源用於先進的金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）和其他相關技術中，以生長半導體微型結構。MOCVD是一種重要的半導體材料製備技術，已廣泛套用於生產超薄多層異質結構、大規模均勻材料以及GaAs、GaN等化合物半導體器件。
MO源的種類繁多，包括金屬氧化物MO源、金屬氮化物MO源和金屬薄膜MO源等。MO源的質量直接決定了最終器件的性能，因此MOCVD工藝對MO源的質量要求很高，其中純度是衡量MO源質量的關鍵指標。