快速排水清洗槽
QDR槽通常指的是快速排水清洗槽，它主要用於酸鹼刻蝕後的去離子水沖洗工藝，以去除晶圓表面的微粒雜質和殘留化學藥液，保持晶圓表面的潔淨。在華林科納生產的清洗機中，QDR快排沖洗槽是一個重要的清洗工藝模組，它由噴淋槽、溢流槽、勻流板、快排汽缸體、噴嘴噴管、管路和管件等組成，確保了晶圓濕法清洗的高效和效果。
需要注意的是，QDR也可以指四倍數據速率（Quad Data Rate），這是一種存儲技術，通過雙邊沿對數據採樣實現數據的讀寫，從而提高存儲效率。然而，根據上下文，這裡的QDR槽指的是與晶圓清洗相關的設備部分。