qdr清洗

QDR清洗機是一款專門用於2寸到12寸晶圓表面清洗的晶片清洗設備，適用於晶片生產過程中的客戶。其工作原理是在晶圓生產完成後，使用去離子水（DIW）或超純水（UPW）對晶圓進行表面清洗。該設備具備以下功能：

補液

快排

鼓泡

溢流

噴淋

此外，QDR清洗機還支持通過PLC進行人機互動，方便用戶操作和控制設備。