RBS分析有兩種不同的含義和套用領域。
一種是基於風險的安全管理技術和方法體系，即RBS理論，全稱為基於風險的監管。它以風險管理理論作為基本理論，結合風險定量、定性分級，要求以風險分級水平，實施科學的分級、分類安全監管。這種監管模式具有系統性、科學性、合理性和有效性，能夠全面地進行風險辨識，體現預防性，落實動態性，實現定量性，套用分級性。
另一種是盧瑟福背散射光譜法(RBS)，這是一種用於成分薄膜分析的離子散射技術。它允許在不使用參考標準的情況下進行量化。在分析期間，高能He2+離子被引導到樣品上，背散射He的能量分布和產率測量給定角度的離子。由於每個元件的背向散射截面是已知的，因此可以從厚度小於1μm的薄膜的RBS光譜中獲得定量的成分深度分布。
這兩種RBS分析在不同的領域有著重要的套用，能夠有效地提高安全監管的效能和安全保障水平，或者分析固體表面層元素成分、雜質含量和元素濃度分布。