電子與物質的相互作用
掃描電子顯微鏡（SEM）的工作原理主要涉及電子與物質的相互作用。具體來說，SEM使用聚焦的高能電子束掃描樣品表面，這導致樣品表面產生多種相互作用，包括激發二次電子、背散射電子、吸收電子、俄歇電子、特徵X射線和連續譜X射線等。其中，二次電子是最重要的成像信號之一，對樣品表面形貌非常敏感，能夠有效地顯示樣品表面的微觀形貌。
這些信號被相應的探測器檢測並轉換成電信號，然後通過電子放大器放大，最終在顯示屏上形成可見的圖像。SEM的解析度通常由二次電子的解析度決定，這使得SEM能夠提供高解析度的表面形貌圖像。
此外，SEM還配備了各種附屬檔案，如X射線能譜儀（EDS），可以同時分析樣品的成分、形態、結構等特性。這些特性使得SEM在材料科學、生物學、地質學等多個領域中發揮著重要作用。