SEM-EDS的原理是利用掃描電子顯微鏡（SEM）和能量色散譜儀（EDS）的組合來進行材料成分分析。其工作原理具體如下：
SEM部分。掃描電子顯微鏡使用聚焦的電子束掃描樣品表面，這些高能電子與樣品相互作用，激發出次級電子、背散射電子和特徵X射線。這些激發出的電子和射線攜帶了關於樣品表面的形貌、成分和結構信息。
EDS部分。EDS系統接收樣品激發出的特徵X射線，這些X射線的能量和強度與樣品中的元素種類和含量相關。EDS系統將這些X射線轉換為電信號，然後通過計算機軟體處理，形成能譜圖，從而可以進行元素的定性和定量分析。
結合SEM和EDS，這種技術可以對材料的表面形貌進行高解析度觀察，同時提供微區的元素成分信息，廣泛套用於材料科學、地質學、生物學等多個領域。