TCAD是Technology Computer Aided Design的縮寫，它是一種半導體工藝模擬和器件模擬工具。TCAD軟件結合了半導體物理模型、數值模擬和設備工藝模擬等技術，用於預測和優化集成電路的性能和可靠性。它幫助工程師和設計人員在芯片設計的早期階段進行仿真和分析，以評估和改善電子設備的性能。TCAD提供了對半導體器件行爲、電流、電壓、電場、載流子傳輸等物理特性的建模和模擬能力。通過使用TCAD，設計人員可以更好地瞭解和預測器件行爲，優化電路結構、材料選擇和工藝參數，以滿足特定的性能要求。這有助於減少設計和製造中的實驗成本和時間，提高芯片設計的成功率。
TCAD工具在集成電路設計和工藝開發中發揮着至關重要的作用，是EDA（Electronic Design Automation，電子設計自動化）軟件的核心底層之一。目前市場上商用的TCAD工具包括Silvaco公司的Athena和Atlas，Synopsys公司的TSuprem和Medici，以及被Synopsys公司收購的ISE公司的Dios和Dessis，以及Crosslight Software公司的Csuprem和APSYS等。