XAFS（X射線吸收精細結構譜）的原理涉及到X射線與物質相互作用的過程，具體包括以下幾個方面：
當X射線通過物質時，它們通過光電效應被物質吸收，這導致內層電子被激發成為光電子（出射波）。
這些光電子在遇到周圍原子時發生散射，形成散射波。
出射波和散射波在吸收原子處發生乾涉，這會影響吸收原子處的光電子波函式，進而影響吸收係數μ。這種影響隨X射線能量的變化而變化，產生了XAFS信號。
XAFS信號主要由吸收原子周圍的近程結構決定，因此可以提供關於小範圍內原子簇的結構信息，包括配體種類、配位數、配位距離等結構信息，以及元素價態等電子結構信息。
通過分析XAFS圖譜中的精細結構，可以獲得關於吸收原子周圍原子排列的詳細信息，包括原子間距、原子種類和數量，以及吸收元素的氧化狀態等。這些信息對於理解材料的局部結構和化學環境非常有價值。