xps是什麼儀器

X射線光電子能譜儀

XPS（X射線光電子能譜儀）是一種用於材料科學和化學領域的分析儀器。

XPS主要用於分析和表徵材料表面的元素及其化學狀態。它可以通過測量材料中各種元素的經驗化學式、化學態和電子態來進行量化分析。XPS的原理是使用X射線照射樣品表面，從而激發出光電子，通過測量這些光電子的能量和強度，可以得到樣品表面的元素信息、化學狀態以及電子態。XPS技術廣泛應用於材料科學、化學、生物醫藥、能源等多箇領域，包括但不限於合金、礦物、半導體、高分子聚合物、催化劑、硅酸鹽陶瓷等的分析。