XRF分析，即X射線螢光光譜分析，是一種用於元素定性和定量分析的技術。其原理是基於X射線與物質相互作用時產生的螢光效應。當X光照射樣品時，樣品中的原子被激發，從而發出具有特定波長的X射線螢光。不同元素的螢光X射線具有不同的特徵波長和強度，這可以用於識別元素種類和確定其含量。
XRF分析具有多種優點，如無損檢測、快速分析、可同時測定多種元素等。它廣泛套用於鋼鐵、水泥、石油化工、環境保護等多個領域。XRF定量分析的準確性受到多種因素的影響，包括樣品製備、定量模型、樣品適應性和質量控制等。為了提高分析精度，通常需要使用標準樣品來建立校準曲線，並通過多元回歸法等數學模型對未知樣品中的元素含量進行定量分析。
此外，XRF分析還可以用於檢測重金屬和其他元素，其檢測濃度可以從幾個ppm到百分含量不等。市面上主要有兩種XRF儀器：能量散射型X射線螢光光譜儀(EDXRF或EDX)和波長散射型X射線螢光光譜儀(WDXRF)。EDXRF體積小、價格相對較低、檢測速度快，但解析度不如WDXRF高。WDXRF使用晶體分光，可以獲得更高的解析度和準確性。