三氟化氮（NF3）是一 種 無色 氣 體，具有以下特性：
物理特性。它是一 種 無色、 無臭、性 質 穩定的 氣 體，在常 溫下 為 氣 體，不溶 於水。其熔 點 為-206.79℃，沸 點 為-129℃，密度 為2.96kg/m³（20℃，101.325kPa），相 對密度 為2.46（相 對於空 氣）。
化 學特性。三氟化氮是一 種 強氧化 劑，在高 溫下（ 約350℃）可分解成二氟化氮和氟 氣，其化 學性 質 類 似於氟。它可以在等 離子 蝕刻 過程中裂解 為活性氟 離子， 這些氟 離子 對 矽和 鎢化合物具有 優 異的 蝕刻速率和 選 擇性。
套用。三氟化氮在微 電子工 業中作 為一 種 優良的等 離子 蝕刻 氣 體，也用作高能燃料。它 還 廣泛 套用 於半 導 體 晶片、平板 顯示器、光伏 電池等的 製造 過程中。
安全性。三氟化氮具有 較高的急性毒性，大鼠吸入的LC50值 為19000mg/m³（1小 時），小鼠 為5600mg/m³（4小 時）， 對人 體也有 潛在的危害。
環境影 響。三氟化氮在高 溫下分解 時 產生 強氧化性的氟， 對 環境有害。