什麼是矽烷

矽烷是一系列由矽和氫組成的化合物的總稱。

這些化合物包括甲矽烷（SiH4）、乙矽烷（Si2H6）和一些更高級的矽氫化合物，其通式為SinH2n+2，其中甲矽烷是最常見的形式。矽烷的性質和用途因其具體的化學組成而異，它們通常具有高純度和可精細控制的特性，能夠通過熱解反應生成晶體矽，使得矽烷在許多其他矽源中成為不可或缺的特殊氣體。矽烷在電子、信息、能源、材料等多個領域有著廣泛的套用，如半導體、液晶顯示器、晶矽太陽能電池、表面處理、化學氣相沉積等。