光掩模板，又 稱光刻掩膜版、光罩、掩模版等，是微 電子 製造中光刻工 藝所使用的 圖形母版。以下是 詳 細介 紹：
光掩模板在薄膜、 塑膠或玻璃基 體材料上 製作各 種功能 圖形 並精 確定位，以便 用於光致抗 蝕 劑 塗 層 選 擇性曝光。
光掩模板在光刻 環 節中，利用掩膜版上已 設 計好的 圖案，通 過透光 與非透光的方式 進行 圖像 複製， 從而 實 現批量生 產。
光掩模板是承 載 圖形 設 計和工 藝技 術等 智慧財產權信息的 載 體，主要 套用 於平板 顯示、半 導 體 晶片、 觸控、 電路板等行 業。