分析方法的精密度是指，在規定的測定條件下，對同一份均勻供試品進行多次取樣測定所得結果之間的接近程度。精密度通常用偏差、標準偏差或相對標準偏差(RSD)表示。精密度包含三個主要部分：
重複性。指在相同條件下，由同一個分析人員使用相同的設備對同一樣品進行多次測定所得結果的精密度。
中間精密度。指在同一個實驗室內，不同時間、由不同分析人員使用不同設備對同一樣品進行測定所得結果的精密度。
重現性。指在不同實驗室由不同分析人員使用不同設備對同一樣品進行測定所得結果的精密度。
精密度是衡量分析方法可靠性的重要指標之一，它反映了測量結果的重現性。一個高精度的分析方法能夠提供一致的結果，這對於確保測量的準確性和可靠性至關重要。然而，高精度的分析方法並不一定能夠保證高準確度，因為精密度主要受偶然誤差的影響，而準確度則可能受到系統誤差和偶然誤差的共同影響。