晶粒尺寸可以通過X射線衍射（XRD）技術進行測量，常用的方法是Scherrer公式。以下是使用Scherrer公式計算晶粒尺寸的步驟：
確定衍射峯的半高寬（FWHM）：衍射峯的半高寬是強度最高的一半時的寬度，可以通過XRD圖譜中的衍射峯來確定。
使用X射線波長和K值：X射線波長λ和K值是Scherrer公式中的兩個關鍵參數。K值通常在0.62到2.08之間變化，對於積分寬度，K值可以取0.89或1。
計算晶粒尺寸：使用公式cosθ = 1/D * kλ/βD，其中D代表晶粒尺寸，β代表半高寬（FWHM）。
軟件分析：使用XRD分析軟件（如Fullprof）進行Profile matching，從out文件中獲得半高寬數值，然後通過擬合獲得斜率值，即1/D，從而得到晶粒尺寸。
需要注意的是，當晶粒尺寸大於100nm時，衍射峯的寬度對晶粒大小的變化不敏感，此時可以使用透射電子顯微鏡（TEM）或掃描電子顯微鏡（SEM）來計算統計平均值。而當晶粒尺寸小於10nm時，衍射峯會顯著寬化，不適合用XRD來測量。