使用平晶進行表面平面度檢測的步驟如下：
對材料進行預處理。首先對材料進行打磨和清洗，以減少表面的不平整度。
鋪平晶。將平晶貼上在材料表面上，使用刮刀將平晶表面壓平，確保其平整度。
測試壓力。使用測量工具對平晶的壓力進行測試，調整到合適的壓力。
觀察乾涉條紋。入射光線垂直於被測表面時，如果平晶與被測表面間的間隙很小，則會出現明或暗的乾涉條紋。這些條紋的位置與光線的入射角有關。在白光下，會看到彩色的乾涉條紋。如果幹涉條紋平直、相互平行且分布均勻，則表示被測表面的平面度很好；如果幹涉條紋彎曲，則表示平面度不佳。
拆除平晶。在材料固化後，使用清洗布清除多餘的平晶。
此外，在使用平晶進行檢測之前，應先使用平面檢測儀器檢查器件的平面度，確保其符合平晶檢測的要求。例如，如果器件的平面度未達到5um以內，則需要進行進一步的研磨處理。