當微波爐起火時，應該採取以下步驟進行處理：
切斷電源：立即關閉電源，以防止火勢蔓延或發生觸電事故。
檢查微波爐內部：在等待維修人員到場之前，可以自行檢查微波爐內部，查看是否有受潮的痕跡。如果發現受潮，應拆下外殼，將內部受潮部分乾燥處理，然後重新組裝。
聯繫專業維修人員：如果不確定如何處理，應聯繫專業的維修人員。他們具有豐富的經驗和專業知識，能夠提供及時的幫助和指導。
清理現場：在火勢得到控制後，應打開抽油煙機以清除煙霧和燃燒產生的味道。
需要注意的是，微波爐起火的原因可能包括內部油垢過多、磁控管損壞或加熱了不應放入微波爐的物品（如金屬或鐵絲）。在處理此類事件時，應確保個人安全，並遵循專業人員的指導。