微型集成系統
微系統是一種基於微電子學、光子學、RF、MEMS和封裝技術的微型集成系統。
微系統技術涉及微米量級內的設計和製造技術，包括微傳感器、微致動器、信號處理和控制電路、接口、通信和電源等的集成。這種技術能夠製造出在大尺寸機電系統中無法實現的功能，並能嵌入到大尺寸系統中，提高自動化、智能化和可靠性。微系統通常具有多種功能，如傳感、處理、執行、通信和能源管理等，集成了體系架構、算法、微電子、微光子、微機電系統(MEMS)等五大要素。
微系統技術是科技領域的一箇重要新興領域，具有廣泛的應用前景，尤其在軍事、航天、信息等領域。