掩膜版的尺寸有多種，常見的包括：
標準尺寸：如600*600mm。
A系列紙張尺寸：如A4、A3、1020*1020mm等。
英寸尺寸：如6 x 6 英寸，這是石英或玻璃基板的常見尺寸。
特定套用尺寸：
普通版：一般使用蘇打玻璃或石英，常見尺寸為2寸到10寸，主要用於接觸式曝光機。
Stepper版：一般使用石英版，常見尺寸為5寸和6寸，主要用於Stepper曝光機台。
納米壓印版：通常需要5寸及以上的尺寸，主要用於實現納米級圖形的轉移。
金屬掩模版：一般採用不鏽鋼材質，最小線寬一般為20um，適用於電子束蒸發、磁控濺射中。
掩膜版的加工精度可以達到最小10um，材質厚度最薄可加工至0.03mm。