次微米(Sub-Micron)是一個技術術語,通常用於描述半導體工業的發展。它指的是特徵尺寸在數百納米(nm)左右的結構,這些結構在半導體行業中被廣泛使用。隨著技術的進步,半導體行業已經進入了次微米時代,製造出了如0.18微米、0.13微米、0.09微米和0.065微米等不同節點的晶片。這些微小的特徵尺寸使得半導體器件的性能得到了顯著提升。
除了在半導體行業中的套用,次微米技術也在其他領域中發揮著重要作用,例如砂輪製造,其中由於砂輪變形極小,可以輕易獲得亞微米(Sub micron)的工件平坦度。