四乙氧基硅烷
正硅酸乙酯，也稱爲四乙氧基硅烷(Tetraethoxysilane)，化學式爲Si(OC2H5)4，是一種無色液體，具有微弱的氣味，熔點約爲-77°C，沸點在165-166°C之間。
正硅酸乙酯主要用於電器絕緣材料、塗料、光學玻璃處理劑，在有機合成中，它用於製造耐化學塗料、耐熱塗料、有機硅溶劑以及精密鑄造膠黏劑，此外，它還用作防熱塗料、耐化學作用的塗料、有機合成中間體等，在電子工業中，它用於形成二氧化硅澱積膜，以阻擋污染物和雜質進入半導體元件，同時可以產生導電層或絕緣層、產生減反射膜提高吸光率、臨時阻擋刻蝕等，其分子由碳、氫、氧和硅組成，其中碳佔46.12%，氫佔9.68%，氧佔30.72%，硅佔13.48%。