氯矽烷是什麼

矽、氯、氫的化合物

氯矽烷是一類矽、氯、氫的化合物。

氯矽烷常見的類型包括四氯化矽(SiCl4)、三氯化矽(SiHCl3)、二氯化矽(SiH2Cl2)等。這些化合物在化學工業中套用廣泛，例如，它們可以用作矽外延片生產過程中的矽源，以及製備有機氯矽烷和有機矽烷的原料。此外，氯矽烷還可用於電子氣、外延、化學氣相澱積等過程中。然而，氯矽烷具有刺激性，可能對眼睛和呼吸道造成傷害，因此在處理時需要採取適當的安全措施。