法事流程通常包括以下幾個主要步驟：
準備工作。選擇一個適合的時間和地點進行法事，一般在道觀、寺廟或家中設立臨時祭壇。準備供品如鮮花、水果、糕點等，以及香爐、蠟燭、神龕等道具。
開始儀式。主持人點燃香爐，燃香祈禱，向天地神靈祈求保佑。宣讀超度法事的目的和意義，讓所有參與者了解儀式的重要性。
祭拜亡靈。主持人帶領參與者進行祭拜亡靈的儀式，包括點燃蠟燭，擺放供品，並向亡靈表示尊敬和懷念。
念誦經文。主持人帶領參與者一起念誦經文，以發出超度的力量。經文中包含對亡靈的祝福和祈願。
超度儀式。主持人進行一系列儀式和動作，代表超度的過程。例如，用手指向祭壇，代表超度的指引和引導。
結束儀式。主持人再次點燃香爐，向神靈祈禱，感謝他們的庇佑和幫助。宣告法事結束，參與者可以自由離開，或留下繼續祈福和超度。
這些步驟涵蓋了法事的基本流程，但具體的儀式細節和持續時間可能因地區、傳統和個人偏好而有所不同。