真空度不足可能由多種原因引起，以下是一些常見的原因及解決方法：
被抽氣體的溫度過高。降低被泵氣體的溫度，或加入相應的換熱器。
泵內油路堵塞或不通暢，泵腔內不能保持一定量的油量。檢查油路是否能疏通，並加入相同類型的真空泵油。
不同的真空泵油牌號。根據產品型號規格，準確更換新真空泵油。
真空泵油形成的真空度較低，例如真空泵油乳化變色或太髒。清潔泵內的所有真空泵油，更換同類真空泵油，並處理被泵氣體中的水蒸氣和雜質，防止進入泵內。
合作間隙增加。檢查間隙是否過大，並更換新零件。
使用劣質真空泵進氣過濾器，導緻密封性差和洩漏。檢查並更換進氣過濾器。
真空泵油變質、乳化、污染或混合使用。檢查並更換泵油。
真空泵內部零件損壞，導致異響和影響真空度。及時修理真空泵。