真空隔膜泵的工作原理主要基於容積變化和壓差，通過電機的圓周運動轉化為機械裝置的偏心運動，進而帶動泵內部的隔膜進行往復式運動。
這種運動使得泵腔內的空氣發生壓縮（隔膜向內移動時）或拉伸（隔膜向外移動時）。在拉伸過程中，抽氣口形成負壓，而排氣口關閉，從而吸入外部氣體。在壓縮過程中，排氣口打開，氣體被排出，而抽氣口關閉。這樣的循環過程實現了對空氣的連續吸入、壓縮和排出，從而產生真空效果。
此外，隔膜真空泵通常由兩個隔膜組成，它們將泵腔分為進氣腔和排氣腔，避免氣體直接進入排氣口。泵腔內的氣體在隔膜的運動下被吸入進氣腔，然後在壓縮階段被壓縮並通過排氣口排出。隔膜通常由高強度的彈性材料製成，如橡膠或塑膠，以確保泵的有效密封和耐用性。
總的來說，真空隔膜泵通過電機驅動的隔膜往復運動，實現泵腔內空氣的壓縮和拉伸，進而產生壓力差，吸入並排出氣體，達到產生真空的目的。