微納加工技術
納米壓印是一種微納加工技術，主要用於工程與技術科學基礎學科領域。
這種技術使用帶有微納結構圖案的模板，通過施加壓力將模板上的圖案轉移到相應的襯底上，從而製作出納米級的圖案。納米壓印技術可以解決光學衍射帶來的解析度限制，使得電子線路的寬度更小，其解析度在理論上高於EUV光刻技術。這種技術被認為是在未來微納電子與光電子產業中的重要技術之一，已經在3D NAND快閃記憶體器等領域得到套用。
納米壓印的技術原理是利用傳統機械模具微復型原理，可以替代傳統且複雜的光學光刻技術。與已商用化的EUV光刻技術相比，納米壓印技術可以大幅減少能耗，並降低設備成本。其工藝主要包括圖形複製和圖形轉移兩大步驟，適合於工業化生產。