臭氧消毒法是一種利用臭氧的強氧化性進行消毒的方法。臭氧是一種強氧化劑，其分子極不穩定，能分解產生氧化能力極強的單原子氧和羥基。這種特性使臭氧能夠迅速融入細胞壁，破壞細菌、病毒等微生物的內部結構，對各種致病微生物有極強的殺滅作用。
臭氧消毒法主要用於空氣、水和物品表面的消毒。空氣消毒時，需要在密閉空間且無人狀態下進行，臭氧濃度為每立方米二十毫克，作用三十分鐘左右。水消毒時，根據不同場所，按廠家產品使用說明書要求進行使用。物品表面消毒時，密閉空間內，臭氧濃度每立方米六十毫克，可作用60到120分鐘左右。
需要注意的是，臭氧對空氣中的微生物包括冠狀病毒都有明顯的殺滅作用，但臭氧要達到消毒作用需要採用20mg/m3的濃度。對於人類而言安全的臭氧濃度是0.05ppm(或0.1mg/m3)，因此在使用時需要特別注意。