超精密加工的主要方法包括：
超精度切削加工：如超精密車削、鏡面磨削、研磨等。
超精密特種加工：包括機械化學拋光、電子束曝射、雷射束加工、離子濺射和離子注入、金屬蒸鍍及分子束外延等。
光整與精整加工：如超微細加工、光整與精整加工等。
能量束加工技術：包括離子束加工、電子束加工和光束加工等，以及電解射流加工、電火花加工、電化學加工、分子束外延、物理和化學氣相澱積等。
LIGA技術：即Lithographie，Galvanoformung，Abformung，是一種綜合性技術，包括深度同步輻射光刻、電鑄成型、塑鑄成型等。
掃描隧道顯微鏡（STM）技術：用於微細結構的製造和精密測量。
這些技術在精密儀器製造、電子、航空、航天等工業中得到了廣泛套用，並且與其他高新技術相互推動，共同發展。