超純水系統是一箇用於製備超純水的完整生產系統，它包括預處理系統、反滲透脫鹽系統和精細處理系統。具體來說：
預處理系統：這個系統包括絮凝劑和殺菌劑添加系統、全自動多介質過濾器、全自動活性炭過濾器、預處理產水箱和預處理輸送泵，用於去除水中的沉澱物、懸浮物、膠體、微生物等物質，確保SDI值滿足反滲透的進水條件。
反滲透脫鹽系統：這是整個系統中最重要的部分，主要由一級反滲透系統和二級反滲透系統組成。一級反滲透系統是最關鍵的脫鹽部分，它由換熱器、安全過濾器、一級高壓泵、一級反滲透系統、緩衝水箱、二級高壓泵、二級反滲透系統、水箱等組成。反滲透設備通過脫鹽工藝，如一級反滲透和二級反滲透，去除水中的鹽分，減少後續工藝處理的脫鹽負荷。
精細處理系統：這個系統主要由高壓泵組成，包括TOC UV和脫氣膜系統以及連續電除鹽系統（CEDI系統），用於進一步去除水中的鹽含量和氣體，提供穩定的水質保證。
超純水系統能夠去除水中的所有導電介質、不溶解的膠體物質、氣體和有機物，使水中除了水分子（H2O）外幾乎沒有其他雜質和有機物。它通過多重過濾、離子交換、除氣、逆滲透、紫外線、超濾、納米過濾、離子吸附過濾等技術來製備超純水。
EDI（電去離子）技術是超純水系統中的一箇重要組成部分，它能夠連續穩定地生產高質量的超純水，無需酸鹼化學再生，具有出水水質穩定、結構緊湊、操作簡單等優點。