工業熱處理設備
退火爐是一種工業熱處理設備，主要用於改變金屬或半導體材料的微觀結構，以改善其物理和化學性質。
在半導體器件製造中，退火爐用於加熱多箇半導體晶片，以影響其電性能，可以激活摻雜劑、改變薄膜的狀態或修復注入的損傷等。退火爐也可以用於不鏽鋼等金屬的加工，通過在特定氣氛下進行連續光亮退火處理，可以顯著提高產品的表面光潔度和抗氧化能力。退火過程包括將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然後以適宜速度冷卻。退火爐的結構通常包括方形或圓形的爐體，爐膛內安裝有耐火磚和硅酸鋁纖維複合保溫層，或全纖維保溫爐襯結構。工件放置在爐膛內，通過電加熱、燃油、燃氣等方式加熱，在自然氣氛或保護氣氛下將工件加熱到所需的退火工藝溫度，保溫一段時間後，自然冷卻或控制速度冷卻。