關鍵尺寸(Critical Dimension,簡稱CD)是指在集成電路製造過程中,爲了評估和控制工藝的圖形處理精度而特別設計的專用線條圖形,它反映了集成電路中特徵線條的寬度。在芯片上,這些物理尺寸特徵被稱爲特徵尺寸。關鍵尺寸對於產品的功能、外觀和可靠性有重要影響,因此通常與這些方面直接相關的尺寸都會被選爲關鍵尺寸。
關鍵尺寸(Critical Dimension,簡稱CD)是指在集成電路製造過程中,爲了評估和控制工藝的圖形處理精度而特別設計的專用線條圖形,它反映了集成電路中特徵線條的寬度。在芯片上,這些物理尺寸特徵被稱爲特徵尺寸。關鍵尺寸對於產品的功能、外觀和可靠性有重要影響,因此通常與這些方面直接相關的尺寸都會被選爲關鍵尺寸。