特殊材料
陶瓷靶材是一類特殊材料，主要用於薄膜製備技術中。它們通常由高純度的陶瓷材料構成，並且在物理氣相沉積（PVD）和化學氣相沉積（CVD）等薄膜沉積技術中被廣泛套用。陶瓷靶材的種類繁多，包括氧化物、矽酸鹽、氮化物、硼化物、碳化物、鋁基、銅基以及稀土元素陶瓷靶材等，每種類型的靶材因其獨特的化學、物理和電學性能，在半導體、顯示器、存儲、微電子、光學鍍膜、特種玻璃製造等多個領域有著廣泛的套用。
例如，氧化物類陶瓷靶材如氧化銦錫（ITO）被用於觸控螢幕和液晶顯示，矽酸鹽類陶瓷靶材用於生產具有特定折射率和色散特性的眼鏡鏡片，氮化物類陶瓷靶材用於製造耐磨薄膜，硼化物類陶瓷靶材用於製備耐熱和耐腐蝕的薄膜，碳化物類陶瓷靶材用於製造耐磨和高溫抗氧化薄膜，鋁基陶瓷靶材用於電子和光學領域，銅基陶瓷靶材用於電子器件的製造，而稀土元素陶瓷靶材則通常用於特種套用，如發光材料和磁性材料的製備。